探针台
Probe Stations
谱量光电 通用型0.7μm探针座整体采用航空铝合金,表面喷砂氧化,具有很好的耐腐蚀能力。位移采用精密燕尾式交叉滚珠导轨,保证线性精度。主要用途探针与待测器件(如芯片)接触,传输测试信号并收集响应信号,以评估待测器件的性能和质量,为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件。根据客户应用电极大小和测试精度不同,还有10μm、3μm、1μm、0.5μm等款式供客户选择;广泛应用于半导体晶圆测试、芯片器件研发与制造、纳米材料测试等,如有定制化标准(行程、精度、夹具等)可联系客户咨询。
| 探针位移行程 XYZ13mm+180°旋转+60°精密定向倾斜调节 | 
| 调节精度 0.7μm | 
| 电压测量范围 电压测量范围 ≤1000V | 
| 电流测量范围 100fA/10pA~10A | 
| 馈通线缆 同轴线缆/三同轴线缆 | 
| 线缆长度 1.5米 | 


(Keithley26系列源表实测)

 
                                    PLCTS 通用型0.7μm探针座采用铝合金材质,表面喷砂氧化,具有良好的机械性能。采用进口交叉滚珠导轨,超高稳定性,适用于20-30μm电极使用。广泛应用于晶圆芯片、半导体材料器件、集成电路等相关行业领域。