探针台
Probe Stations
谱量光电 精密型光电测试探针台是半导体行业中至关重要的检测装备,它主要用于测试半导体器件、光电转换器、光电探测器、芯片和封装体的光电性能。整体实验需要的设备包括光电流测试探针台、光源(单色光源或多色光源)、半导体分析仪等,首先要将探针精确定位到待测点上,确保探针与测试点之间的良好接触。然后调整光源的照射角度和强度,开启光源使其照射到样品上;可以调节光源的光源的波长、功率通过半导体分析仪上监测并记录光电流的变化情况,然后通过测试软件采集和分析测试数据。温度控制系统(可选)用于在不同的温度条件下进行测试,以研究样品的光电性能随温度的变化。我司也可以提供测试所需光源(单色光源或多色光源),如果有其他定制需求可以联系我们的客服进行沟通。
显微镜接口分布
左侧为相机接口,兼容 CCD 以及 CMOS 相机、 中间为激光耦合接口 、右侧为LED照明光源接口 |
物镜
95mm大视场平场复消色差长焦物镜 |
放大倍数
200~1000倍 |
样品台行程
XY轴110mm,Z轴10mm,360°粗调,±5°精调 |
探针座调节精度
3μm |
线缆规格
三同轴接口/同轴接口BNC、鳄鱼夹、香蕉插头(可选配) |
漏电精度
100fA(屏蔽箱内) |
PLCTS 精密型光电测试探针台基于TLRH系列探针台将双目体式显微镜升级为激光显微镜而来,实现高分辨率成像的同时兼顾外引激光光路,实现光电流与IV的双功能检测,是光电芯片/光致发光的理想之选。