探针台
Probe Stations
谱量光电 精密阻尼隔振光学平台上面板采用优质高导磁不锈钢,台面内核为三层夹心式蜂窝结构,内核密度大幅度提高,具有优秀的硬重比和刚性,同时保证了较低的固有频率,具备行业较高的隔振效果。上台面采用精密磨削工艺,平面度可达≤0.05mm/㎡,表面粗糙度:<0.6μm,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射哑光效果。支架采用整体焊接工艺(四支撑或六支撑结构),防止松动及受力不均等情况,保证整体稳定性。支撑腿上方采用专业级精密锥形阻尼减振器,下方采用一级阻尼隔振垫。具有非常优秀的缓冲及隔振性能,固有频率控制在3-8Hz。支架带可升降高度机构和万向可锁紧脚轮,方便移动和调整。
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平面度
≤0.05mm/㎡ |
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表面粗糙度
<0.6μm |
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固有频率
3-8Hz |
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振幅
5μm |
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螺孔间距
25mm×25mm |
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螺孔规格
M6(公制) |


| 定制类型 | 示意图 | 具体描述 |
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| 无磁平台定制 |
| 支持(台面)无磁和(台面支架)整体全无磁两种形式 左图为中电某所PLGZQ-1815全无磁精密型气浮隔振光学平台 |
| 非标准尺寸定制 |
| 各种非标准型号尺寸均可定制 左图为2.7x1.5米阻尼隔振光学平台 |
| 异型结构定制 |
| 非标准矩形台面等异型结构来图定制 |
| 各类刻度线定位标识 |
| 刻度线和定位标识定制 |
PLCTS 精密阻尼隔振光学平台支架顶部采用复合型振动隔离器在一定条件下可隔离来自地面的振动,底部安装调节装置,解决了地面不平坦的问题。台面平面度可达≤0.05mm/㎡,表面粗糙度:<0.6um,达到无反射哑光效果,有效减少了杂散光。满足不同的实验室环境需求,支持客户尺寸结构定制化。