• 隔振方式：三线摆杆、混合腔结构；
• 阻尼方式：微米级层流阻尼，SMC 纳米级高流量气动执行元件；
• 通过实验理论值固有频率：垂直＜1.0～1.5Hz；水平＜1.0～1.5Hz；
• 支腿顶部配有安全连接件，大大提升安全性；
• 台面具有M6螺纹孔，螺孔间距： 25mm×25mm阵列分布，可在台面固定光学元件等；

     谱量光电 三线摆式高性能气浮隔振光学平台是我司为超高精密实验需求开发的一款高性能气浮隔振平台。上面板采用优质高导磁不锈钢，台面内核为三层夹心式蜂窝结构，内核密度大幅度提高，具有优秀的硬重比和刚性，同时保证了较低的固有频率，具备行业较高的隔振效果。上台面采用精密磨削工艺，平面度可达≤0.05mm/㎡，表面粗糙度：<0.6μm，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射哑光效果。支腿为独立式圆腿支撑，无整体共振，内部三线摆设计可将振动隔离到更低的水平，并在受到干扰后实现高精度工作台重新定位，层流阻尼技术大大提高阻尼效率，混合腔设计极大增加给定尺寸下的柔性体积，同时有效降低了固有频率。