探针台
Probe Stations
谱量光电 针对行业高精度应用场景需求,新推出电动款五相高精度探针座,低速无抖动,实现亚微米级定位,搭配我司多轴运动控制系统以及运动手轮组合,轻松实现单轴运动或多轴联动,单个控制器最多可连接三个电动探针座,可实现九个维度的精确控制。
探针位移行程
XYZ三维分别15mm |
调节精度
~1μm |
手动升降调节
行程15mm,分辨率0.5μm |
最大速度
10mm/s |
漏电流精度
100fA/10pA |
PICTS TPES-UP系列电动探针座可以独立的操作某一个轴,也可以多个轴组合运动;每个轴的速度可以单独控制;更是匹配多种自动控制,实现多轴联动以及多轴插补运动,最多单个控制器可以连接三个探针座,实现9个自由度的组合电动位移。