• 观察纳米材料的形貌（表面凹凸、纹理、裂纹、孔隙、颗粒形态）；
• 搭配EDS，可检测样品微区元素种类、含量、元素分布，做定性 / 半定量成分分析；
• 功能特点：低电压高分子成像、双叉能谱探头、无窗EDS可测至Li元素、超快EBSD（可做TKD）；
• 适用于可对金属、陶瓷、半导体、生物样品进行纳米级高分辨观测；

     多功能高分辨扫描电镜（SEM）采用Zeiss GeminiSEM 500，是利用二次电子和背散射电子信号，通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等的一种分析仪器，随着科学技术水平的提高，其放大倍数 可达几十万倍，分辨率可达纳米级别，是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。